CIGS - Università di Modena e Reggio Emilia

Microscopio Elettronico a Scansione Nova NanoSEM 450      SEMFEG  

 

Ditta Produttrice : Fei Company  - Bruker corporation

Configurazione Strumentale

Data di installazione : 2013

Rivelatore In-lens SE detector (TLD-SE) [ High Vacuum e Low Vacuum] Rivelatore In-lens BSE detector (TLD-BSE) [ High Vacuum e Low Vacuum] Rivelatore TV-rate low vacuum solid-state BSED (GAD) Rivelatore Retractable DBS Rivelatore STEM [Tem-mode] Rivelatore IR-CCD Rivelatore EBIC (6-Channel Detector Amplifier) Portacampioni multiplo con sistema di navigazione Nav Cam Catodoluminescenza CLD KE stand-alone Centaurus Detector 185-850nm Detector 300-650nm Sistema per microanalisi X-EDS Bruker QUANTAX-200 detector Xflash 6, 10mm2, 126eV Analisi qualitative e quantitative Mapping Line&Grids Sistema per analisi cristallografiche EBSD Bruker QC-200 i EBSD Detector-Bruker e- Flash1000 Software con Quantax ICSD database

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Descrizione della tecnica

La Microscopia Elettronica a Scansione (SEM) permette di ottenere, da un opportuno campione, immagini tridimensionali ad alta risoluzione (~100 A) mediante scansione di un fascio di elettroni in una piccola area del campione in esame. Tutti gli effetti che si producono nel punto di impatto del fascio possono essere utilizzati, tramite appositi rivelatori, per produrre contrasto, quindi l'immagine. Inoltre l'analisi dei raggi X prodotti permette di effettuare analisi composizionale ad alta risoluzione spaziale (microanalisi).

Le modalità di lavoro principali sono 3 :

High Vacuum - In questa modalità il Microscopio opera come un SEM tradizionale su campioni conduttivi con osservazione simultanea di segnale di elettroni secondari ( SED) e retrodiffusi ( BSE ) senza limitazioni di campo visivo.

Low Vacuum -In questa modalità il Microscopio puó operare in condizioni di basso vuoto ( <= 1.5 Torr ) con osservazione simultanea di elettroni secondari ( SED ) tramite apposito rivelatore (LFD) e retrodiffusi (BSE) senza limitazioni del campo visivo. Il processo di ionizzazione del gas permette la compensazione della carica sul campione consentendo l'osservazione di campioni non conduttori senza metallizzazione.

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Applicazioni generali

Si tratta di una tecnica molto generale che trova applicazione sia in campo biologico che nella scienza dei materiali ogni qualvolta si renda necessario visualizzare strutture a forte ingrandimento (si possono ottenere risoluzioni anche inferiori ad 1 nm). Particolarmente importante, soprattutto nel campo delle scienze dei materiali, è la possibilità di effettuare analisi composizionale con risoluzione spaziale dell'ordine del micron.

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Applicazioni tecnologiche e industriali

Industria biomedicale

Problematiche ambientali

Semiconduttori, campioni ceramici e metallici

Industria alimentare

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Tecniche disponibili

• SED Informazioni prevalentemente morfologiche - in tutte le modalità di vuoto
• BSE Informazioni prevalentemente composizionali - in tutte le modalità di vuoto
• X-EDS Informazioni composizionali qualitative e quantitative su elementi con Z >8
• EBSD Identificazione delle fasi presenti nei materiali cristallini
• CATODOLUMINESCENZA informazioni sulle proprietà fisiche dei materiali attraverso la raccolta di fotoni emessi
• EBIC analisi morfologica dipendente dalle caratteristiche elettriche di campioni conduttori/semiconduttori

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Links interessanti

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